Silicon Reclaim/Test Wafer

•晶圓類型 & 吋數:
─測試片 (6” , 8”)
─再生晶圓 (6” , 8”)
─檔控片 (6”, 8” & 12”)

•再生晶圓 服務內容:
–磊晶晶圓(EPITAXIAL Silicon)
–多晶矽薄膜晶圓
–氧化膜晶圓/ 氮化膜晶圓
–金屬薄膜晶圓
–圖案化晶圓

•生產能力 :
–再生晶圓 70K/月
–檔控片     60K/月